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臺灣三川宏SEB立式泵廠家為您解析什么是PVD工藝

作者: 川田環(huán)??萍? 編輯: 三川宏售后 來源: 發(fā)布日期: 2020.09.02
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physical vapor deposition (物理氣相沉淀)即PVD的英文縮寫。它是采用在真空的工況條件下采用相對較低的工作電壓、大電流的電弧放電技術(shù),使得氣體放電將靶材蒸發(fā)物質(zhì)和氣體都電離,然后利用電場的加速作用使被蒸發(fā)的物質(zhì)以及反應產(chǎn)物在工件上實現(xiàn)真空電鍍(PVD)的基本原理。

惰性氣體以及反應氣體電離變成氣體離子,因電鍍的消耗材料的負電位有一個定向運動,那么,轟擊固體靶材料的表面并進行能-量交換。使得靶材獲得能-量并射出靶原子或分子,在電磁場的加速運動中產(chǎn)生了PVD工藝(物理氣相沉淀)使的產(chǎn)品表面產(chǎn)生鍍層。

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