信息摘要:
前一篇,三川宏塑料離心泵廠家川田環(huán)??萍夹【帪槟窒砹岁P(guān)于電鍍和電泳的一些內(nèi)容以及區(qū)別。今天,小編來(lái)為您解析什么是濺鍍,以及濺鍍的相關(guān)內(nèi)容和…
前一篇,三川宏塑料離心泵廠家川田環(huán)??萍夹【帪槟窒砹岁P(guān)于電鍍和電泳的一些內(nèi)容以及區(qū)別。今天,小編來(lái)為您解析什么是濺鍍,以及濺鍍的相關(guān)內(nèi)容和特點(diǎn)都有哪些?
濺鍍的原理主要是采用放電將氬氣電離撞擊靶表面,靶材的原子被彈出,堆積在基板表面形成了鍍膜。該膜層相比較蒸鍍來(lái)講更為均勻,不過(guò)成膜的速度要慢于蒸鍍。目前的濺鍍設(shè)備大多使用的是強(qiáng)力磁鐵使電子以螺旋加速氬氣離子,使得氬氣離子撞擊的概率增加,提升成膜的速度。
目前采用較多的電源是直流電,若使用在不導(dǎo)電的陶瓷材料則采用RF交流濺鍍,主要是在真空中利用光輝放電使得氬氣離子撞擊靶材表面,電漿宏的陽(yáng)離子會(huì)加速向負(fù)電極表面撞擊使得靶材材料飛出沉積為濺鍍膜。
濺鍍制程有哪些特點(diǎn)呢?下期,三川宏塑料離心泵廠家川田環(huán)??萍夹【嶮IKAWA將繼續(xù)來(lái)為您分享解析有關(guān)于濺鍍的一些特點(diǎn)方面的內(nèi)容。